آنالیز عنصری یا EDS به سه روش نقطه ای، صفحه ای و خطی انجام می شود.
آنالیز نقطه ای :
در این روش منطقه مشخص شده برای آنالیزگیری به صورت یک نقطه و یا یک منطقه می باشد و نتایج به صورت یک نمودار و یک جدول شامل درصد عناصر موجود در قسمت انتخاب شده از نمونه گزارش می شود.
آنالیز صفحه ای یا نقشه عنصری :
در این روش پراکندگی عناصر موجود در نمونه یا به عبارتی نقشه عنصری نمونه و در یک منطقه آنالیز با نقاط رنگی مشخص می شود و نتایج به صورت مجزا ( یعنی نقشه هر عنصر در نمونه به طور جداگانه) و همینطور به صورت تلفیقی( نقشه چند عنصر در کنار هم) گزارش می شود.
آنالیز خطی :
در این روش تغییرات عناصر مشخص شده در راستای یک خط به وسیله نمودار هیستوگرام مشخص می شود.