دستگاه میکروسکپ گسیل میدانی
(field emission sem) مدل Mira 3-XMU
میکروسکپ الکترونی گسیل میدانی مدل Mira 3-XMU از جدیدترین و پیشرفته ترین دستگاه های FESEM موجود در ایران است و امکان استفاده از آخرین تکنولوژی را برای کاربران خود فراهم
آشکارساز تصویری (BSE-In beam, SE-In beam, SE, BSE) علاوه بر توان تصویربرداری تا بزرگنمایی 1000000 برابر، قابلیت تصویربرداری در بزرگنمایی های بالا در ولتاژهای بسیار پایین با کیفیت مطلوب را دارد.از دیگر مزیت های این دستگاه مجهز بودن آن به دتکتور LVSTD می باشد.این دکتور قابلیت تصویربرداری تحت خلا پایین را دارد و از این رو برای نمونه هایی که تحت خلا بالا آسیب می بینند، نظیر نمونه های بایو، مواد پلیمری و همینطور نمونه هایی با تخلخل بالا، مناسب می باشد.
همچنین این دستگاه مجهز به میکروآنالیز EDS نسل دوم است به طوری که امکان شناسایی کوچک ترین فازها را میسر می سازد.با توجه به امکان تنظیم فشار داخل محفظه دستگاه و رزولوشن بالا قابلیت کار در کلیه زمینه های علمی و صنعتی بخصوص در زمینه نانو تکنولوژی را دارا می باشد.